菲希尔X荧光射线测厚仪测量原理

菲希尔X荧光射线测厚仪测量原理

激发过程

仪器内部的X射线源发射高能初级X射线，照射到被测样品表面。

样品中的原子（包括镀层和基体材料）吸收这些X射线能量，导致其内层电子（如K层或L层）被激发并脱离原子。

荧光发射

当外层电子跃迁回内层空位时，会释放出具有特定能量的次级X射线，即特征X射线荧光。

不同元素发出的荧光X射线能量是的（如金Au的Lα线约为9.7 keV，镍Ni的Kα线约为7.5 keV）。

信号检测与分析

仪器配备高分辨率探测器（如硅漂移探测器 SDD 或比例计数器），用于接收并分辨这些特征X射线的能量和强度。

通过分析荧光信号的强度，结合已知的物理模型和校准曲线，可计算出各元素镀层的厚度；通过分析能量，可识别元素种类，实现成分分析。