原理
光学干涉与断层扫描:OCT 膜层检测仪借助光学干涉现象,让低相干光经样品反射后与参考光干涉。通过断层扫描技术,精准捕捉不同膜层的光传播信息,重建三维结构,从而实现对膜层厚度、缺陷等的高精度分析。
组件协同工作:光源系统提供宽带近红外光,干涉仪完成光的分配与干涉处理,扫描系统实现样品方位扫描,探测器负责信号采集,数据处理系统则将原始信号转化为直观的断层图像。
特点
非接触式与无损检测:不会对易损膜层材料造成破坏,既能保护样品,又能保证检测的重复性与准确性。
实时检测:可融入生产线,及时发现生产中的问题,有助于提高生产效率和产品质量。
自动化操作:减少人工误差,降低运营成本,同时提高检测的一致性和可靠性。
高分辨率:能够达到微米级的成像精度,可清晰地显示膜层的微观结构和缺陷,远超超声波检测。
深度分辨:可逐层分析多层结构,如涂层、薄膜等,提供丰富的内部结构信息。
适应性强:适用于透明、半透明及部分不透明材料,具有较广泛的应用范围。
应用领域
工业领域
电子元件检测:可检测电子元件的涂层质量,如电路板上的三防漆涂层,能够快速发现气泡、分层等缺陷,确保电路板的可靠性。
显示屏幕检测:用于检测手机 3D 屏、柔性 OLED 等显示屏幕的薄膜缺陷,对薄膜的厚度、均匀性等进行精确测量,保障屏幕的显示质量。
半导体晶圆检测:可以检测半导体晶圆的细微损伤、划痕、凹坑等表面缺陷,以及内部的裂纹、气泡等缺陷,有助于提高半导体器件的良品率。
锂电池检测:能对锂电池极片涂层的均匀性进行分析,还可测量各种封装膜、贴合胶带的厚度,以及监测电池行业激光焊接熔深,保障锂电池的质量和安全性。