激光平直度测试仪G600基本原理信息

仪器基本原理

核心部件：PSD（Position Sensitive Detector），由 P 衬底、PIN 光电二极管及表面电阻组成，能测量光点在测量面上的连续位置变化，与 CCD 探测器相比，具有位置分辨率高、光谱响应宽、响应速度快等优点

测量原理：以激光束为直线基准，在空气中沿理想直线传播，通过 PSD 接收器测得被测对象表面或运动机构的位置偏移量，再由测量软件根据各测量点偏移量计算得到各项参数。

功能与性能

- 测量功能：可测量直线度、平行度、垂直度、平面度、轴线偏移等，能同时测量高低和水平两个方向，支持公差带显示、分段评价、数据比较，实时绘制误差曲线图，采用端点法、最小二乘、最小区域等算法。

产品特色

 - 高精度双轴 PSD 接收器，分辨率达 0.1μm。

一键调光，改变传统调光方式，提高测量效率，一次可将两端偏差调整到微米级。

长距离调光工具，微调分度值 0.5μm。

自动测量单元 AMU80，测量距离 0.03m - 80m，精度 ±(1mm + 0.05% D)，输出频率最高 20Hz。

棱镜 VP5 - 20，精度 90°±1″，可 3 个方向调节，适用于大跨距平行度与垂直度测量。

性能指标：系统误差（MPE）为 ±(1%・L + 1μm)，分辨率最高 0.1μm，棱镜垂直偏差 ±1″，测量范围 10mm×10mm（双轴），最大测量距离 0 - 50m。