美国API激光干涉仪测量机床全部误差所用的时间越短,越能够反映所测机床的真实情况。当用传统干涉仪测量时,因在测量各项指标时更换光学镜调整光路上要浪费大量的时间,难以保证机床检测数据的稳定性和重复再现性。
XD 系列激光干涉仪约在 2000 年进入中国市场,结合激光干涉技术和光电自准直技术,不仅可用于精度的最终评价,也可用于机床的安装调整。美国API激光干涉仪XD Laser 激光干涉仪是 API 公司的产品,一次安装即可以测得 6 个参数,包括 1 个位置度误差、2 个直线度误差和 3 个角度误差。通常时间需数天进行的测试,使用 API 激光干涉仪只需几个小时即可完成。实际应用结果表明:可节省时间高达 80%。
API 公司 XD 系列激光干涉仪型号如下:
一维测量系统
XD–1D 标准型
XD–1D 精密型
三维测量系统:XD–3D
五维测量系统
XD–5D 标准型
XD–5D 精密型
六维测量系统
XD–6D 标准型
XD–6D 精密型