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API激光干涉仪技术参数

  • 发布日期:2022-05-15      浏览次数:156
    • API激光干涉仪

      技术参数

      API激光干涉仪5D/6D标准型:

      1. 线性:0.5ppm .

      2. 测量范围:40米(1D可选80米)

      3. 线性分辨力:0.001um.

      4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

      5. 最大范围:800角秒

      6. 滚动角精度:1.0角秒

      7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

      8. 直线度最大范围:500um

      9. 垂直度精度:1角秒

      10. 温度精度:0.2摄氏度

      11.湿度精度:5%

      12.压力精度:1mmHg

      API激光干涉仪主要特点

      1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

      2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

      3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

      4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。

      5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架

      6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间

      API激光干涉仪


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