HELMUT FISCHER 菲希尔代理 X射线 XDL230

HELMUT FISCHER 菲希尔代理 X射线 XDL230

菲希尔X射线测厚仪XDL230核心技术参数

测量原理：X 射线荧光光谱法 (XRF)，无损检测。

元素分析范围：氯 (Cl, 原子序数 17) 至 铀 (U, 原子序数 92)。

测量能力：

最多可同时分析 24 种元素、23 层镀层。

厚度范围：纳米级至毫米级。

精度：重现性变异系数 < 0.5%；厚度≥0.5μm 时，顶层精度 ≤5%。

HELMUT FISCHER 菲希尔代理 X射线 XDL230 X 射线系统：

射线管：钨靶，带铍窗口。

高压：30kV / 40kV / 50kV 三档可调。

准直器：标配 φ0.3mm，可选 φ0.1mm/0.2mm 及矩形。

最小光斑：约 0.2mm (φ0.1mm 准直器)。

探测器：比例计数器 (PC)。

样品台：

手动 XY 轴：移动范围 95 × 150 mm。

电动 Z 轴：行程 140 mm。

DCM 距离补偿：支持 0-80mm 深腔测量。

定位系统：40-160 倍 高分辨率 CCD 摄像头 + 激光定位。

分析方法：菲希尔基本参数法 (FP)，支持无标样测量。

尺寸与重量：570 × 760 × 650 mm；107 kg。