菲希尔X射线测厚仪镀金层仪器

菲希尔X射线测厚仪镀金层仪器

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ特点

功能强大的高级型号，用于最小结构和小于 0.1 µm 的最薄涂层的精确涂层厚度测量和材料分析

带钨靶的微聚焦射线管；可选钼靶

4种可切换的滤波器

极其强大的硅漂移探测器，有效面积为20 mm²或50 mm²，可实现最高精度的薄膜检测

内部制造的多毛细管光学元件，最小的测量点可低至 10μm FWHM，测量时间短，强度高

数字脉冲处理器DPP+，用于提高计数率，减少测量时间或提高测量结果的重复性

分析从 Al(13) 到 U(92) 的元素，可提供氦气吹扫，可同时测量多达24种元素

高精度、可编程的 XY 平台，定位精度 < 5 µm，可实现的样品定位和自动图案识别，实现最佳的重复精度

典型的应用领域

在非常小的平面元件和结构上进行测量，如印刷电路板、触点或引线框架

测量电子和半导体工业的功能涂层

分析非常薄的涂层，例如，≤0.1微米的金/钯涂层

测定复杂的多涂层结构

自动测量，例如在质量控制中

磁性探头型号：FGAB1.3-150

内部测量探头带微处理芯片。弹性测量系统带红宝石尖。适合于直径 9mm以上的孔。手柄至测量头的长度为 150mm ,等于管子端部到测量点的 距离。

电缆长度： 1.5m  ( 5’)

测量范围：0 - 800um（NF/Fe)——0 - 32 mils

测量误差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%

涡流探头型号：FAI3.3-150

内部测量探头带微处理芯片。弹性测量系统带红宝石尖。适合于直径 9mm以上的孔。手柄至测量头的长度为 150mm ,等于管子端部到测量点的 距离。

电缆长度： 1.5m  ( 5’)

测量范围：-0 - 800um（ISO/NF)——0 - 32 mils

测量误差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%