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机床定位激光干涉仪

机床定位激光干涉仪

简要描述:
机床定位激光干涉仪,双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪,自从发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。

更新时间:2024-01-12

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厂商性质:经销商

生产地址:

品牌TeledyneAPI/美国价格区间面议
产地类别进口应用领域环保,制药,综合

机床定位激光干涉仪

美国API激光干涉仪

基本上,激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8 nm波长的光,橙红灿烂的光束射向远方,发散角可以小到0.1 mrad,光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光,但只有632.8 nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器,如半导体(LD)、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器,研究人员多有尝试,但都没有成功。

激光干涉仪有很多应用,但本质都是测量中学课本讲的“位移",诸多应用都是“位移"的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型:单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。

美国API激光干涉仪单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做,但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上,双频激光干涉仪市场。

美国API激光干涉仪单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造,直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。

历,双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪,自从发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。

按产生双频的方法,双频激光干涉仪分为塞曼双频激光(国外)干涉仪和双折射-塞曼双频激光(国内)干涉仪。

现在干涉仪的指标:最小可感知1 nm(十亿分之1 m),可以测量百米长的零件,且测量70 m长的导轨误差仅为几微米。


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