美国自动精密仪器激光干涉仪

美国自动精密仪器激光干涉仪

美国API Radin激光跟踪仪是由一个先进的、结构紧凑的跟踪头、一个控制箱、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成的。其它配件还包括一个三角架、靶球、工具箱和测量软件包。

伴随着制造产业如：液晶面板、太阳能光伏、锂电新能源、激光、贴装、半导体、医疗制造、精密喷绘、精密检测、点胶等行业的兴起或进阶，带来了庞大的精密自动化设备需求；为匹配制造业相应技术要求，自动化设备的制造及标定技术标准也在不断提升；这其中，无论是在生产制造过程中的测量检测、还是在设备服役期间的校准标定，都是重中之重的环节，为自动化设备的稳定运行提供最坚实的保障。 

美国自动精密仪器激光干涉仪

美国API激光干涉仪XD Laser的技术参数： 

1．1D激光主要可以测量定位误差 

2．3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向） 

3．5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角

4．5D/6D标准型技术参数：

    1) 线性：0.5ppm .

    2) 测量范围：40米（1D可选80米）

    3) 线性分辨力：0.001um.

    4) 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

    5) 范围：800角秒

    6) 滚动角精度：1.0角秒

    7) 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

    8) 直线度范围：500um

    9) 垂直度精度：1角秒

   10) 温度精度：0.2摄氏度

   11) 湿度精度：5%

   12) 压力精度：1mmHg